
廈門太星機電有限公司
經(jīng)營模式:商業(yè)服務(wù)
地址:廈門市集美區(qū)東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機組
業(yè)務(wù)熱線:0592-6800154
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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環(huán)真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。
散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一,通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵,它需要機械泵作為前級泵。
影響油擴散泵性能的因素如下。
1、油擴散泵的返流。
2、氣體分子的反擴散。
3、擴散泵油的裂化分解,一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右),受熱穩(wěn)定性好,不易被氧化,分子量大的高沸點的液體,如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。
4、泵清洗不干凈,污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復循環(huán),影響其真空度。
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擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強,被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來,再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮,由前級泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán)工作達到抽氣目的。
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通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫擋板而定。
1.極限真空
如果對一般油擴散泵的結(jié)構(gòu)進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設(shè)計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始壓力正好是機械泵的極限壓力,因此,油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。
2.大反壓強
大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強高于大反壓強,則擴散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率
擴散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運動理論來推算出來。
4.設(shè)置冷阱及低溫擋板的原因
